Oh, shit!
Ich habe in das Datenblatt vom tiny15 geschaut. Der 11er kann das leider nicht. Wenn Du ein präzises Timing brauchst, nimm entweder den 15er oder sorge dafür, dass keine Interruptquelle mit höherer Priorität existiert. In letzterem Fall kannst Du den Reload-Wert über die in der Doku zu dem AVR-Kern angegebenen CPI-Werte der Befehle in der ISR errechnen.
Grüsse, jmaass
Edit:

s h i t -> n u t s