Ich glaube da wird dir nichts anders übrig bleiben als für jede Anlage eine eigene Tabelle zu machen.
Jedenfalls habe ich es nicht anders hinbekommen.

Falls deine Tabelle sehr viele Daten enthält ist es mühsam die Daten für die einzelnen Tabellen zusammen zu suchen. Deswegen habe ich etwas getrickst. Markiere die gesamte Tabelle MIT Überschrift. Es gibt die Funktion Daten - Filter - Autofilter. Die mal anklicken. Jetzt erscheinen bei der Überschrift Pfeile, die nach einem Klick verschieden Optionen auswählen lassen. Gut ist hier der Pfeil über der Spalte "Anlagennr". Wenn du da die Nummer 1 auswählst, werden nur die Werte angezeigt die auch zur Anlagennummer 1 gehören, für 2 und drei gilt das selbe. Jedesmal marierst und kopierst du dir die angezeigten Werte und fügst sie irgendwo unten am Ende der Haupttabelle ein. So kannst du so deine Tabelle splitten und in 3 Tabellen aufteilen (Messwerte Anlage 1, Messwerte Anlage 2, Messwerte Anlage 3).

Dann kannst du aus den drei Tabellen einen Grafen machen:
Markiere zuerst die Tabelle "Messwerte Anlage 1" aber ohne das eventuell vorhandene Datum, das beißt sich leider mit der Uhrzeit, lass es weg.
Dann gehst du auf Diagramm Assistent und wählst deinen Diagrammtyp (Linie). Einmal weiter geklickt und da ist deine Zeichnung. Jetzt klickst du oben auf "Reihe" Es sollte eine Datenreihe "Messwert vorhanden sein. Mit Hinzufügen weitere Reihen erstellen. Du trägst einen Namen für die Reihe ein und neben Werte trägst du den Bereich ein wo du die Messwerte für Anlage 2 gespeichert hast.
Jetzt erscheint eine neue Messkurve die die Messwerte für Anlage 2 enthält.
Das Ganze nocheinmal für die 3. Anlage. Nun hat dein Graph drei Messkurven für die 3 Anlagen mit den jeweiligen Werten.



Hier meine erstellte Beispieltabelle